磁控溅射电源在镀膜领域有着广泛的应用。设计研制一种新拓扑结构的多模式输出镀膜电源,将高频PWM整流技术、全桥变换器与直流降压电路相结合;通过合理的时序控制实现直流溅射、单向脉冲、双向对称和双向不对称等四种溅射模式;运用DSP数字控制器灵活实现对高频PWM整流器输出幅值、工作模式,以及溅射脉冲宽度、频率的设置。实验样机证明,本设计能实现多模式输出,输出幅值范围为200V-750V,频率最大为200k Hz,占空比10%-90%可调,功率因数不低于0.97。该技术将多个镀膜功能集成到同一个设备中,设备体积小、降低成本、提高了利用率,谐波污染低,具有很好的推广应用价值。