等离子体共振表面波的分析

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成果类型：

期刊论文

作者：

龙润生;龚学余;李圣;李志明

作者机构：

南华大学,电气工程学院,湖南,衡阳,421001

[龙润生; 龚学余; 李志明; 李圣] 南华大学

语种：

中文

关键词：

表面波;横磁模式;等离子体共振;非均匀等离子体工艺

期刊：

怀化学院学报(自然科学)

ISSN：

1671-9743

年：

2007

卷：

期：

页码：

45-47

DOI：

10.3969/j.issn.1671-9743.2007.02.013

机构署名：

本校为第一机构

院系归属：

电气工程学院

摘要：

研究具有轴向线性密度特性的非均匀圆柱冷等离子体的表面波,得到了碰撞等离子体时纯表面波在横磁模式下的实频率、衰减速率和特征函数,并且考虑了等离子体共振的情况.结果表明,在等离子体共振时的位置处,特征函数有极大值.

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