利用蒙特卡罗方法研究了GaN、SiC等几种宽带隙半导体材料在β源辐照下的行为。结果表明表层中沉积的β粒子数密度随材料密度的增加而增加,其最大电子数密度与物质密度间存在近似的线性关系;电子数密度随粒子入射深度成指数衰减,随横向迁移距离的增加而迅速衰减,其横向最大迁移距离在6mm左右。相对高能电子而言,低能电子更容易发生电离作用,且电子的沉积能随入射深度逐渐减少。对于0.1~500keV的入射电子,GaN、SiC等半导体材料的背散射系数大约在0.04~0.38之间,其大小与材料及入射电子能量有关。β粒子在GaN、SiC等材料中的射程都比较短,对于0.5MeV的β粒子其最大射程不超过1mm。