金属表面磁控溅射TiN涂层制备的实验方法

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成果类型：

期刊论文

作者：

肖魏魏;唐德文

作者机构：

南华大学机械工程学院湖南衡阳 421001

[唐德文; 肖魏魏] 南华大学

语种：

中文

关键词：

磁控溅射;金属材料;TiN涂层;实验教学

期刊：

信息记录材料

ISSN：

1009-5624

年：

2019

卷：

期：

页码：

18-19

DOI：

10.16009/j.cnki.cn13-1295/tq.2019.07.009

机构署名：

本校为第一机构

院系归属：

机械工程学院

摘要：

锆合金由于中子吸收截面小等优点被广泛应用于核电行业。为了进一步提高其耐腐蚀性能和耐高温氧化性能,可采用表面涂层工艺。本文采用磁控溅射工艺在锆合金表面制备TiN涂层,并测试涂层的表面形貌和结合强度,应用于金属表面涂层制备的认知性和延伸性实验教学,使学生在实践中掌握材料表面处理学术前沿知识,培养创新思维,提高分析、解决问题的能力。

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