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发明专利

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2020-03-25

CN202010217110.9

2020-06-16

CN111290146A

421001 湖南省衡阳市蒸湘区常胜西路28号

湖南

本校为第一完成单位

1.基于周期性圆环-狭缝复合孔阵列的表面等离子体光开关，是由电介质基底和金属薄膜组成的微纳结构，金属薄膜设置于电介质基底的正上方，其特征是：金属薄膜上设有复数个圆环-狭缝单元，复数个圆环-狭缝单元周期性阵列排布于金属薄膜上，圆环-狭缝单元包括一个贯穿金属薄膜厚度方向的圆环和一个贯穿金属薄膜厚度方向且垂直于横向阵列周期方向的矩形狭缝，矩形狭缝位于圆环内，矩形狭缝的中心与圆环的圆心重合。 2.如权利要求1所述的基于周期性圆环-狭缝复合孔阵列的表面等离子体光开关，其特征是：所述电介质基底的电介质材料为石英或苯并环丁烯，所述电介质基底的厚度为150nm～250nm；所述金属薄膜的材料为银或金，所述金属薄膜的厚度为50nm～100nm。 3.如权利要求1所述的基于周期性圆环-狭缝复合孔阵列的表面等离子体光开关，其特征是：所述圆环-狭缝单元的数量不小于9，复数个圆环-狭缝单元排列形成的阵列的形状为正方形或长方形，复数个圆环-狭缝的排列周期为500nm～800nm。 4.如权利要求1所述的基于周期性圆环-狭缝复合孔阵列的表面等离子体光开关，其特征是：所述圆环的内圆半径为100～150nm，圆环的宽度为25～55nm；所述狭缝的长度为100～250nm，宽度为25～60nm；狭缝的长度小于圆环的内圆直径。

基于周期性圆环‑狭缝复合孔阵列的表面等离子体光开关，由电介质基底和金属薄膜组成，金属薄膜设于电介质基底正上方，金属薄膜上设有复数个周期性阵列排布的圆环‑狭缝单元，圆环‑狭缝单元包括贯穿金属薄膜厚度方向的圆环和矩形狭缝，矩形狭缝位于圆环内、垂直于阵列周期方向且矩形狭缝的中心与圆环的圆心重合。通过改变入射光的偏振方向、金属薄膜厚度、圆环‑狭缝单元间隔长度等参数优化表面等离子体光开关的性能。本发明结构简单、制作工艺要求低、尺寸小便于集成；无泵浦光对信号光及后续光路的干扰，能够有效控制可见光波段和近红外波段的开关比，操作方便，表面等离子体光开关的功耗低...