版权说明 操作指南
首页 > 成果 > 详情

直流辉光等离子体的边缘效应

认领
导出
下载 Link by 中国知网学术期刊 Link by 万方学术期刊
反馈
分享
QQ微信 微博
成果类型:
期刊论文
作者:
冯军;陈美艳;金凡亚;但敏;聂军伟;...
通讯作者:
Tong, H.
作者机构:
核工业西南物理研究院, 四川, 成都, 610041
四川材料与工艺研究所, 四川, 江油, 621700
[冯军; 陈美艳; 金凡亚; 但敏; 聂军伟; 沈丽如; 童洪辉] 核工业西南物理研究院, 四川, 成都, 610041
[赖新春] 四川材料与工艺研究所, 四川, 江油, 621700
通讯机构:
Southwestern Institute of Physics, Chengdu, Sichuan, China
语种:
中文
关键词:
边缘效应;直流辉光;鞘层理论;辉光渗氮
关键词(英文):
DC glow discharge plasma;Edge effect;Ion nitriding;Sheath theory
期刊:
金属热处理
ISSN:
0254-6051
年:
2016
卷:
41
期:
6
页码:
89-93
基金类别:
2013GB110006:ITER计划国内配套专项 11305054:国家自然科学基金 11305055:国家自然科学基金
机构署名:
本校为第一机构
院系归属:
电气工程学院
摘要:
结合辉光渗氮试验结果,对直流辉光等离子体材料处理中的边缘效应进行了研究,根据相关鞘层理论,对工件边角处及其附近的鞘层厚度S、电场强度E及离子密度n进行了定性分析。结果表明:在边缘效应范围d内,当远离边角时,S将变大、E及n变小。主等离子体密度n_0的减少将使边缘效应的影响范围d变大,因此降低工作气压p及电流I可减弱边缘效应。采用改进措施渗氮后,工件边缘效应得到抑制,且渗氮效果较好。
摘要(英文):
Combined with the test results of glow discharge nitriding, edge effect of metals during DC glow discharge plasma treatment was investigated. According to the related theory of sheath, the sheath thickness S, electric field intensity E and ion density n in the corner of the work piece and its vicinity were analyzed qualitatively. The results show that the S increases, E and n decrease when far from the work piece edge in the edge effect range d. The decrease of the main plasma density n0 make the influence range d of the edge effect larger, thu...

反馈

验证码:
看不清楚,换一个
确定
取消

成果认领

标题:
用户 作者 通讯作者
请选择
请选择
确定
取消

提示

该栏目需要登录且有访问权限才可以访问

如果您有访问权限,请直接 登录访问

如果您没有访问权限,请联系管理员申请开通

管理员联系邮箱:yun@hnwdkj.com