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PET 核孔膜蚀刻速率影响因素的研究

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成果类型:
期刊论文
作者:
左振中;吴振东;屈国普;梁海英;鞠薇;...
通讯作者:
Qu, G.
作者机构:
[左振中] 南华大学核科学技术学院 衡阳421001
[左振中] 中国原子能科学研究院核物理研究所 北京102413
[梁海英; 陈东风; 吴振东; 鞠薇; 傅元勇] 中国原子能科学研究院核物理研究所
[屈国普] 南华大学
通讯机构:
[Qu, G.] U
University of South China, Hengyang 421001, China
语种:
中文
关键词:
核孔膜;电导法;径迹蚀刻速率;体蚀刻速率;能量损失率
关键词(英文):
Nuclear pore membrane;Conductivity method;Track-etch rate;Bulk-etch rate;Energy loss rate
期刊:
核技术
ISSN:
0253-3219
年:
2014
卷:
37
期:
4
页码:
29-34
机构署名:
本校为第一且通讯机构
院系归属:
核科学技术学院
摘要:
核孔膜是通过重离子照射薄膜后进行化学蚀刻所得到的高性能过滤材料,蚀刻速率是影响高质量核孔膜制备的重要因素。本文探讨了不同蚀刻液浓度、温度以及重离子辐照能量对蚀刻速率的影响。利用140 MeV的~(32)S 离子在室温和真空条件下对4层堆叠的PET (polyethylene terephthalate)薄膜进行了辐照。在对辐照样品进行化学蚀刻期间采用电导法确定了径迹蚀刻速率V_t。结果表明:蚀刻速率与蚀刻温度呈指数相关,随蚀刻液浓度增加而线性增大;径迹蚀刻速率随能量损失率(离子能损)增大。研究确定,在入射~(32)S 能量为1.6MeV·u~(-1)时,NaOH 浓度为1mol·L~(-1)、蚀刻温度为85 °C 时最有利于形成圆柱形微孔。...
摘要(英文):
Background: The nuclear pore membrane is a kind of liquid filtration material manufactured by irradiation and chemical etching. Various conditions in etch process have a great influence on etch rate. Purpose: The influence factors of concentration and temperature of etch solution and the irradiation energy of heavy ions on etch rate was studied. Methods: Four layers of PET (polyethylene terephthalate) films were stacked together and were irradiated with 140-MeV 32S ions at room temperature under vacuum conditions. Utilizing conductivity me...

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